AL Spin Etcher Flow Meter 개조개선

Onsemi

AL Spin Etcher Flow Meter 개조개선

2024.12 - 2024.12

주요 성과

이중알람 설치. 품질불량

이중인터락, chemical, DIW, Air gas monitoring

PLC Program 연동. Touch Parameter interlock Setting

Alarm 추가. 품질불량 예방

사용 기술

개조개선flowmeterkeyenceASEAl spind etcher

프로젝트 갤러리

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AL Spin Etcher Flow Meter 개조개선 gallery 3

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