Legacy Equipment Retrofit & Life Extension

반도체 Legacy 장비 개조·수명연장

FSI Mercury 등 WET Process 장비의 리퍼비시, 단종 부품 대응과 제어 개선. 기존 설비의 상태를 확인하고 유지할 부분과 바꿀 부분을 함께 검토합니다.

이런 상황에서 문의해 주세요

  • 단종 부품 때문에 고장 대응과 예비품 확보가 어렵습니다.
  • 기존 공정을 유지하면서 제어기·센서·운전 화면을 개선해야 합니다.
  • 약품 공급·유량·도어 동작을 장비 제어와 연동해야 합니다.

검토 가능한 작업 범위

  • FSI Mercury MP 등 WET Process 장비 리퍼비시 및 고장 수리
  • PLC·HMI 제어 개선과 단종 부품 대체 가능성 검토
  • 약품 공급·유량 감시 및 인터록 로직 검토
  • 개조 전 백업, 변경 범위 협의와 시운전 확인

작업 후 정리할 자료

  • 현황 및 교체·개조 범위 정리
  • 합의된 프로그램·설정 백업 및 변경 이력
  • 합의한 시운전 항목과 결과 기록
장비 모델, 도면·프로그램 보유 여부, 부품 수급과 정지 가능 시간을 검토한 뒤 수행 범위를 정합니다.

문의 전 참고 자료

관련 현장 프로젝트 확인 →

모델명과 현재 증상부터 알려주세요.

장비·제어기 모델, 발생하는 문제와 희망 일정을 보내주시면 검토 가능한 작업 범위와 필요한 자료를 안내합니다.

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